激光整形用光学部件的设计方法、激光整形用光学部件的制造方法及激光整形用光学系统

摘要

本发明的一个实施方式所涉及的激光整形用光学部件的设计方法测量入射激光的强度分布，就入射激光的短轴方向和长轴方向的各个，从测量的入射激光的强度分布和所期望的强度分布，分别求得一对非球面透镜的短轴方向和长轴方向的形状，分别进行一对非球面透镜的短轴方向和长轴方向的形状的高次多项式近似，使用修正系数修正短轴方向的高次多项式或长轴方向的高次多项式，并基于修正高次多项式求得一对非球面透镜的形状。