一种磷扩散炉的三氯氧磷排除方法

摘要

本发明公开了一种磷扩散炉的三氯氧磷排除方法，包括如下步骤：首先，磷扩散炉排出的三氯氧磷气体进入缓冲箱内与进入缓冲箱内的自然风混合冷却；其次，冷却后的三氯氧磷气体被抽入抽风管并在抽风管内被喷淋的氨水中和液化落入抽风管底部的密封水箱；最后，液化并中和的三氯氧磷液体从密封水箱排出进入废水处理系统进行处理。本发明利用自然空气和雾状稀释氨水迅速冷却扩散炉管中排除的尾气，防止熔化抽风管的特氟龙涂层，同时使三氯氧磷在抽风管内迅速液化。