曝光装置、曝光管理系统、和曝光方法

摘要

根据实施方式，提供包括取得部和计算部的曝光装置。取得部取得多个测量值。多个测量值是对于多个焦点偏移量测量的值。多个焦点偏移量彼此不同。多个测量值分别表示拍摄区域内的位置偏移分布。计算部从多个测量值求多个失真误差。计算部按照多个焦点偏移量及多个失真误差，求相关关系。相关关系是焦点偏移量和用于修正失真误差的位置对准修正值的相关关系。