法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-05-20
授权
授权
2013-06-12
实质审查的生效 IPC(主分类):G01M 1/12 申请日:20111028
实质审查的生效
2013-05-08
公开
公开
机译: 结构检查装置,结构位置测量装置,空中图像测量系统,空中位置测量方法,结构位置恢复装置,结构位置恢复方法,空中图像数据处理装置,空中图像数据处理方法,结构曝光装置,结构曝光方法,掩模的制作方法及口罩制作系统
机译: 基于三角原理的测量方法在非接触方式下测量本体表面点距与参考水平距离的测量系统。
机译: 测量系统采用基于三角原理的非接触式测量接触物体表面到参考水平距离的测量方法