使用具有有益的脉冲波形的激光脉冲群在薄膜材料中划线的方法及装置

摘要

脉冲序列中的一系列脉冲在基底上的材料薄膜中划线，每个脉冲具有有益的时域功率波形而不是传统的激光时域功率波形。有益的时域脉冲波形具有尖峰/平台-椅状波形或矩形脉冲波形。在薄膜中划线是通过以下方式来完成的：将一系列激光脉冲光斑放置在待划线上，使得在沿着线的相邻激光脉冲光斑之间具有交叠面积。与使用传统脉冲波形实现的划线加工相比，使用一系列具有有益脉冲波形的激光脉冲而在薄膜中划线产生了较好的品质和较干净的划线加工。