低温泵系统、压缩机及低温泵的再生方法

摘要

本发明涉及低温泵系统、压缩机及低温泵的再生方法。本发明的课题在于提高低温泵制冷机的基于逆转升温的升温能力。本发明的低温泵系统(100)具备：低温泵(10)，具备用于进行低温板(60)的冷却运行和用于低温板(60)的再生的升温运行的制冷机(50)；及压缩机(52)，用于向制冷机(50)供给工作气体，使压缩机(52)的供给工作气体温度在升温运行中比在冷却运行中高，更加升高。压缩机(52)可包含用于冷却向制冷机(50)供给的工作气体的热交换器和迂回热交换器的旁通路。控制部(20)可根据制冷机(50)的运行状态，切换经由热交换器的流路和经由旁通路的流路。