图像获取装置,图案检查装置及图像获取方法

摘要

提供图像获取装置及方法、图像检查装置。图案检查装置的图像获取部具有：光照射部；线性传感器；角度变更机构；搬送机构，其搬送作为检查对象的膜材（web）。从光照射部出射对于膜材的薄膜图案具有透光性的波长的光。来自光照射部的光的照射角与线性传感器进行拍摄的检测角始终相同，并且由角度变更机构变更这些角度。在图案检查装置中，预先求出使检查图像的对比度变高的照射角及检测角的设定角度，并将照射角及检测角设定为设定角度。由此线性传感器能够利用单波长的光源来获取对比度高的检查图像，从而能够消减图案检查装置的制造成本。