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金属硅化物自对准锗硅异质结双极晶体管及其制备方法

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摘要

本发明公开一种金属硅化物自对准锗硅异质结双极晶体管，为解决现有产品基极电阻R

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-05-07

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 29/737 授权公告日:20150506 终止日期:20180522 申请日:20120522

专利权的终止
2015-05-06

授权

授权
2015-05-06

授权

授权
2013-01-16

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L29/737 申请日:20120522

实质审查的生效
2013-01-16

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 29/737 申请日:20120522

实质审查的生效
2012-11-21

公开

公开
2012-11-21

公开

公开

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1. 金属硅化物自对准锗硅异质结双极晶体管及其制备方法 [P] . 中国专利： CN102790079B . 2015.04.15
2. 金属硅化物自对准锗硅异质结双极晶体管及其制备方法 [P] . 中国专利： CN102790081A . 2012-11-21
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