法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-04-22
授权
授权
2013-05-01
实质审查的生效 IPC(主分类):G01F 1/28 申请日:20121127
实质审查的生效
2013-04-03
公开
公开
机译: 旋转式切刀靶基,旋转式切刀靶,涂层安装,生产旋转式切刀靶的方法,靶基连接装置以及将旋转式靶基设备连接以将安装溅射到靶基支持的方法
机译: 旋转式切刀靶基,旋转式切刀靶,涂层安装,生产旋转式切刀靶的方法,靶基连接装置以及将旋转式靶基设备连接以将安装溅射到靶基支架的方法
机译: 旋转式切刀靶基,旋转式切刀靶,涂层安装,生产旋转式切刀靶的方法,靶基连接装置以及将旋转式靶基设备连接以将安装溅射到靶基支架的方法