在工件上形成图案的方法、定形用于所述方法的电磁辐射束的方法、以及用于定形电磁辐射束的孔

摘要

一种在工件（1260）上形成图案（700）的方法包括在工件上放置图案掩模（1210），在图案掩模上放置孔（100，500，600，1220），并且将所述工件放置在电磁辐射的束（1240）中。该孔包括三个相邻的部分。第一部分（310）具有第一侧（311）、第二侧（312）、以及第一长度（313）。第二部分（320）具有与第二侧相邻的第三侧（321）、第四侧（322）、第二长度（323）、以及第一宽度（324）。第三部分（330）具有与第四侧相邻的第五侧（331）、第六侧（332）、以及第三长度（333）。第一和第三长度基本上相等。第一和第三部分是互补的形状，如这里所定义的。