一种增强热稳定性的透射式光电阴极材料的变掺杂结构

摘要

本发明是一种增强热稳定性的透射式光电阴极材料的变掺杂结构，在GaAs100衬底材料层往上依次为AlGaAs腐蚀阻挡层，GaAs锌重掺杂层，GaAs锌低掺杂层，GaAs 碳梯度掺杂层，GaAs间隔层，AlGaAs窗口层。优点：该结构采用碳掺杂和变掺杂技术增强透射式GaAs或InGaAs光电阴极的短波响应，提升光电阴极工艺过程的热稳定性。变掺杂综合采用了锌和碳掺杂，在铯化面采用重锌掺杂，减小了铯化耗尽区，提高了光生载流子逸出概率；在窗口层界面处采用低碳掺杂，降低界面少子复合速率；在窗口层界面与重锌掺杂层之间采用碳变掺杂，形成具有良好热稳定性的内建电场，可以优化出高性能的光电阴极。