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公开/公告号CN102832140B
专利类型发明专利
公开/公告日2015-04-08
原文格式PDF
申请/专利权人 中国电子科技集团公司第四十研究所;
申请/专利号CN201210317980.9
发明设计人 杨俊钊;刘燕;刘彬;蒙高安;江洪涛;张斌;
申请日2012-08-31
分类号
代理机构蚌埠鼎力专利商标事务所有限公司;
代理人王琪
地址 233010 安徽省蚌埠市长征路773号
入库时间 2022-08-23 09:24:31
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-04-08
授权
2013-02-06
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/48 申请日:20120831
实质审查的生效
2012-12-19
公开
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