法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-04-08
授权
授权
2012-12-12
实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 29/00 申请日:20101228
实质审查的生效
2011-09-14
公开
公开
机译: 用于调节抛光垫的抛光表面的温度的热交换器,具有该热交换器的抛光设备,使用该热交换器抛光基板的方法以及控制抛光垫的抛光表面的温度的计算机可读记录介质记录节目
机译: 基板抛光设备,基板抛光方法和用于调节抛光装置抛光垫抛光表面温度的装置
机译: 基板抛光装置,基板抛光方法以及用于调节在抛光装置中使用的抛光垫的抛光表面的温度的装置