一种薄膜及光学元件损伤判别的声学方法

摘要

本发明属于一种薄膜以及光学元件损伤判别的测量领域，具体是一种薄膜及光学元件损伤判别的声学方法。现有技术对激光损伤阈值测试存在测试的重复性难以保证和测试的准确性难以保证两个问题。为了克服现有技术存在的问题，本发明提供的技术方案是：一种基于声学的损伤判别方法：通过探测薄膜损伤瞬间产生的声学时域强度信号，进而对时域强度信号进行副立叶变化，经过副立叶变化后，提取出时域信号的频域特征，即出现某一特定的频率，该频率唯一表征了薄膜是否损伤，从得到的时域信号和该信号的频域特征，综合给出薄膜损伤与否的准确判据，即时域是否出现强度峰并且频域是否有特征频率。本发明测试的重复性好、准确性高。