脉冲调制高频功率控制方法以及脉冲调制高频电源装置

摘要

本发明提供一种脉冲调制高频功率控制方法，具有用于控制脉冲输出的振幅的输出振幅控制步骤和用于控制脉冲输出的占空比的占空比控制步骤。输出振幅控制步骤控制脉冲输出的振幅值，进行使振幅值成为设定振幅值的恒定振幅控制。基于输出振幅控制的恒定振幅控制，例如反馈通过功率控制输出的脉冲输出的振幅值，求出该反馈值和预先设定的设定振幅值的差值，控制脉冲输出的振幅值使该差值成为零。