具有非线性特征曲线的压力传感器

摘要

本发明涉及具有非线性特征曲线的压力传感器。本发明提供一种适于在工作范围的低压和高压下提供高分辨率的压力传感器。该压力传感器包括具有界面的主体、以与界面相邻的方式密封地设置在空腔中的膜、和与膜连通的感测元件。本发明还提供一种包括压力传感器的燃料电池系统。