一种具有导向机构的谐振型SAW压力传感器

摘要

设计了一种基于声表面波谐振器的压力传感器,其敏感单元采用声表面波器件制成的简支梁结构,采取集中载荷在叉指换能器背部施力的方式.为保证压力传导方向的一致性,设计并制作了双平行四簧片导向机构,并利用ANSYS软件对其进行了仿真验证.最后进行了力学加载实验,发现该压力传感器具有极高的灵敏度,而且重复性误差、迟滞性误差较小.实验结果为声表面波压力传感器的结构设计提供了有益参考.