公开/公告号CN101996859B
专利类型发明专利
公开/公告日2015-01-21
原文格式PDF
申请/专利权人 东京毅力科创株式会社;
申请/专利号CN201010262548.5
申请日2010-08-24
分类号
代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人刘新宇
地址 日本东京都
入库时间 2022-08-23 09:23:31
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-01-21
授权
授权
2012-04-18
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/00 申请日:20100824
实质审查的生效
2011-03-30
公开
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