法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-05-18
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01J 37/32 授权公告日:20150114 终止日期:20170428 申请日:20120428
专利权的终止
2015-01-14
授权
授权
2015-01-14
授权
授权
2012-11-21
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20120428
实质审查的生效
2012-11-21
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20120428
实质审查的生效
2012-09-26
公开
公开
2012-09-26
公开
公开
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机译: 频率调制方式中改善高频放电等离子体均匀性的方法
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