一种钛合金表面Cu掺杂TiN合金层的制备方法

摘要

一种钛合金表面Cu掺杂TiN合金层制备方法是将基材和靶材置于等离子表面合金化炉，对钛合金表面进行预溅射处理，清除表面污渍及钝化层；然后同时开启源极和工件电压，通过氩离子对源极溅射及金属离子的沉积、扩散，在钛合金表面形成含Cu合金层；之最后在炉体内通入氮气并保温，在钛合金表面形成Cu掺杂TiN合金层。该钛合金表面改性层不仅具有优良的杀菌效果，而且表面硬度显著提高，耐磨性得到明显改善；该方法操作简单，重复性好，成本低，可广泛用于改善钛合金表面的抗菌及耐磨性能。