单弹性梁叉指电容加速度计

摘要

本发明涉及一种单弹性梁叉指电容加速度计，包括基底及基底上的上下锚点、叉指电容、弹性梁、质量块、连接梁和左右锚点；其特征是：所述叉指电容、弹性梁、质量块和连接梁的结构为垂直沉积叠加结构，该垂直沉积叠加结构自底层向上依次为第一SiO₂图层、第一金属铝图层、第二SiO₂图层、第二金属铝图层、第三SiO₂图层、第三金属铝图层和钝化层，第一金属铝图层和第二金属铝图层由设置在第二SiO₂图层中的第一钨塞连接，第二金属铝图层和第三金属铝图层由设置在第三SiO₂图层中的第二钨塞连接；在该垂直沉积叠加结构上设置侧墙，侧墙由钝化层上表面延伸至基底上表面，在基底上设置悬空结构。本发明所述电容加速度计的灵敏度高，提高了可制造性，制造成本低。