公开/公告号CN103258704B
专利类型发明专利
公开/公告日2014-12-10
原文格式PDF
申请/专利权人 南京三乐电子信息产业集团有限公司;南京三乐微波技术发展有限公司;
申请/专利号CN201310131716.0
申请日2013-04-16
分类号H01J25/50(20060101);H01J23/38(20060101);H01J23/033(20060101);
代理机构32200 南京经纬专利商标代理有限公司;
代理人杨海军
地址 210009 江苏省南京市浦口经济开发区光明路5号
入库时间 2022-08-23 09:22:29
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-12-10
授权
授权
2013-09-18
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 25/50 申请日:20130416
实质审查的生效
2013-08-21
公开
公开
机译: 大功率磁控管,特别是大功率连续波磁控管
机译: 大功率磁控管,特别是大功率持续时间线磁控管
机译: 通过磁控管溅射法涂覆物体以在工具上形成保护层的方法包括:通过电源向磁控管供电,以达到规定的最大功率峰值高度