法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-12-10
授权
授权
2013-04-17
实质审查的生效 IPC(主分类):F17C 13/00 申请日:20121128
实质审查的生效
2013-03-20
公开
公开
机译: 具有可摆动的驱动装置的底铣床,具有能量释放支撑装置,该能量释放支撑装置设置有闭合机构,使得驱动单元的旋入和旋出位置在驱动单元和机架之间形成闭合。
机译: 设置有带有气体轴承的气体弹簧的支撑装置以及设置有这种支撑装置的光刻装置
机译: 通过紧固螺钉将部件扭曲连接的装置,具有通过卡口接头与部件连接的支撑装置,以及分配给盲铆螺母的旋入螺纹,其通过卡口接头与支撑装置固定