法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-03-22
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01N 33/28 授权公告日:20141217 终止日期:20160128 申请日:20130128
专利权的终止
2014-12-17
授权
授权
2013-06-19
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 33/28 申请日:20130128
实质审查的生效
2013-05-22
公开
公开
机译: 配备有改进的装置以代替沉积速率测量传感器的沉积装置以及使用相同的装置来替代沉积速率测量传感器的方法
机译: 用于测量沉积速率,沉积速率测量装置,蒸发源和沉积装置的振荡晶体的方法
机译: 预处理振动晶体的方法测量沉积速率,沉积速率测量装置,蒸发源和沉积设备