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公开/公告号CN102639463B
专利类型发明专利
公开/公告日2014-11-12
原文格式PDF
申请/专利权人 日本碍子株式会社;
申请/专利号CN201180004701.7
发明设计人 渡边守道;神藤明日美;胜田祐司;佐藤洋介;矶田佳范;
申请日2011-10-11
分类号C04B35/581(20060101);C04B35/04(20060101);H01L21/3065(20060101);H01L21/31(20060101);
代理机构31210 上海市华诚律师事务所;
代理人徐申民;李晓
地址 日本国爱知县
入库时间 2022-08-23 09:22:14
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-11-12
授权
2013-10-02
实质审查的生效 IPC(主分类):C04B 35/581 申请日:20111011
实质审查的生效
2012-08-15
公开
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