CMOS MOEMS传感器器件

摘要

本发明涉及传感器器件。更具体的是，本发明涉及基于CMOS的微-光-电机传感器(MOEMS)器件，其中硅光发射器件，硅波导和硅探测器使用当前互补金属氧化物半导体(CMOS)技术或绝缘体上硅片(SOI)技术来制造。依据本发明，提供了一种如下的传感器，其包含：基于硅的光发射结构；集成的能够探测机械偏转的电光机界面结构；集成的电子驱动和处理电路，用于探测诸如振动、运动、旋转、加速的物理参数。