公开/公告号CN102735273B
专利类型发明专利
公开/公告日2014-11-05
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;
申请/专利号CN201210225347.7
申请日2012-06-29
分类号
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人宋焰琴
地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号
入库时间 2022-08-23 09:22:02
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-11-05
授权
授权
2012-12-12
实质审查的生效 IPC(主分类):G01D 5/353 申请日:20120629
实质审查的生效
2012-10-17
公开
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