用于检测等离子处理室中激发步骤的电容耦合静电(CCE)探针装置及其方法

摘要

提供一种识别等离子处理系统的处理室内稳定的等离子的方法。该方法包括在该处理室内执行激发步骤以生成等离子。该激发步骤包括在该处理室内施加相当高气压并在该处理室内维持低射频(RF)功率。该方法还包括采用探针头以采集一组激发步骤过程中的特性参数测量值，该探针头在处理室的表面上，其中该表面非常接近衬底表面。该方法进一步包括将该组特性参数测量值与预定的范围对比。如果该组特性参数测量值在预定的范围内，则存在稳定的等离子。