法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-12-21
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/08 授权公告日:20140917 终止日期:20151102 申请日:20121102
专利权的终止
2014-09-17
授权
授权
2013-03-20
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/08 申请日:20121102
实质审查的生效
2013-02-06
公开
公开
机译: 减小高温高压流体之间的压力差的压力差减小装置,使用该方法减小高温高压流体之间的压差的方法以及一种使用该压力差的过滤装置相同
机译: 界面,一种在非真空环境下观察物体和扫描电子显微镜的方法
机译: 界面,一种在非真空环境下观察物体和扫描电子显微镜的方法