基于硅纳米柱阵列的微流体单向阀门器件的制备方法

摘要

本发明属于材料技术领域，具体涉及一种基于“二面神”硅纳米柱阵列的微流体单向阀门器件的制备方法。我们的方法涉及以改良的微模塑技术结合等离子刻蚀技术在硅片表面制备硅纳米柱阵列，再通过倾斜的沉积技术及选择性修饰的方法来制备具有“两面神”结构的硅纳米柱阵列并将其用于微流体单向阀门器件。整个过程操作简便，过程低耗清洁，并且所制备的“两面神”硅纳米柱阵列具有很好的稳定性。通过与聚二甲基硅氧烷（PDMS）微流体孔道结合，实现了水在孔道中的单向流动的调控。通过改变流体的流量或者孔道的截面积进而调控流体的压强可以实现所制备的单向阀门的开关。利用我们的方法制备的单向阀门器件，无论在科学研究中还是在微流体体系的实际应用中都具有重要的意义。