公开/公告号CN102569508B
专利类型发明专利
公开/公告日2014-10-22
原文格式PDF
申请/专利权人 中山大学;
申请/专利号CN201110453335.5
申请日2011-12-29
分类号H01L31/18(20060101);H01L31/0352(20060101);C23C14/22(20060101);C23C14/06(20060101);C23C14/18(20060101);
代理机构44245 广州市华学知识产权代理有限公司;
代理人陈燕娴
地址 510275 广东省广州市新港西路135号
入库时间 2022-08-23 09:21:18
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-12-13
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 31/18 授权公告日:20141022 终止日期:20181229 申请日:20111229
专利权的终止
2014-10-22
授权
授权
2014-10-22
授权
授权
2012-09-12
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/18 申请日:20111229
实质审查的生效
2012-09-12
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/18 申请日:20111229
实质审查的生效
2012-07-11
公开
公开
2012-07-11
公开
公开
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