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具有用于减小像差的可替换、可操纵的校正布置的光学系统

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摘要

本发明涉及一种用于半导体光刻的投射曝光设备，包括用于减小像差的至少一个操纵器(14)，其中操纵器(14)包括至少一个光学元件(8)，该至少一个光学元件(8)由至少一个驱动器(13)操纵，并且其中该操纵器(14)连同驱动器(13)一起以可替换的方式形成。

公开/公告号CN101548240B

专利类型发明专利
公开/公告日2014-09-17

原文格式PDF
申请/专利权人卡尔蔡司SMT有限责任公司;
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申请/专利号CN200780044525.3
发明设计人斯蒂芬·泽尔特;彼得·迈耶;吉多·利姆巴赫;弗朗兹·索格;阿明·舍帕克;乌尔里克·韦伯;乌尔里克·洛林;德克·赫尔韦格;詹斯·库格勒;伯恩哈德·盖尔里奇;斯蒂芬·亨巴彻;伯恩哈德·格珀特;阿克赛尔·戈纳迈耶;
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申请日2007-11-27
分类号
代理机构北京市柳沈律师事务所;
代理人邱军
地址德国上科亨
入库时间 2022-08-23 09:21:04

1. 具有用于减小像差的可替换、可操纵的校正布置的光学系统 [P] . 中国专利： CN101548240B . 2014.09.17
2. 物镜像差校正镜及像差校正方法和光学系统、光刻机 [P] . 中国专利： CN107797218B . 2020.01.24
3. Optical system with an exchangeable, manipulable correction arrangement for reducing image aberations [P] . 韩国专利： KR101507622B1 . 2015-03-31

机译：具有可更换，可操纵的校正装置的光学系统，可减少图像像差
4. Optical system with an exchangeable, manipulable correction arrangement for reducing image aberrations [P] . 美国专利： US8659745B2 . 2014-02-25

机译：带有可更换，可操纵的校正装置的光学系统，可减少图像像差
5. Optical system with an exchangeable, manipulable correction arrangement for reducing image aberrations [P] . 美国专利： US8542346B2 . 2013-09-24

机译：带有可更换，可操纵的校正装置的光学系统，可减少图像像差