一种间接连接型音叉振动式微机械陀螺

摘要

本发明涉及一种间接连接型音叉振动式微机械陀螺，该陀螺由第一基板及悬于其上方的第二基板组成，第一基板和第二基板通过四个锚点固定；第二基板包括对称的左结构和右结构以及连接左右两边的中间结构；所述左结构或右结构包括一个带驱动梳齿的驱动质量块、两个检测质量块以及四个驱动弹性梁，带有检测栅形可动栅极和检测可动梳齿的检测质量块位于驱动质量块的内部，通过一个检测弹性梁和驱动质量块连接；中间结构包括与驱动弹性梁相连的两个中间耦合质量块和通过四个锚点与中间耦合质量块相连的四个中间耦合弹性梁。本陀螺采用硅微加工技术制备，在大气环境下可获得较高灵敏度、较稳定的检测输出，可应用于复杂环境仍能保持较高精度和稳定性。