用低相干扫描干涉测量法的扫描误差校正

摘要

一种设备包括宽带扫描干涉测量系统，该系统包括光学部件，用以结合来自测试物的测试光和参考光，而在探测器上形成干涉图案。该设备还包括配置为扫描从共用光源至探测器的、所述测试光和参考光之间的光程差(OPD)的台，以及包括探测器的探测器系统，用以记录一系列的光程差增量的每一者的干涉图案，每一个光程差增量的频率定义帧频。光学部件被配置以产生至少二个监测干涉测量信号，当扫描光程差时，干涉测量信号的每一者表示光程差的变化，探测器系统被配置以记录监测干涉测量信号。该设备包括处理器，被配置以对于大于所述帧频的频率的OPD增量，决定所述光程差增量对扰动灵敏度的信息。