一种含有特定粘合剂及增塑剂的干膜光阻剂

摘要

本发明提供了一种水溶液显影的干膜光阻剂，其组份中含有高分子粘合剂、游离基光引发剂、可加聚单体、增塑剂以及热聚合抑制剂，其特征在于：高分子粘合剂是一种含有羧基的可形成薄膜的粘合剂，是由下述的混合物聚合得到：该混合物包括(a)分子式为H₂C＝CRCOO〔(C_nH_2n)X(C_pH_2p)〕_mR’的单体，其中R是氢或甲基，R’是饱和或不饱和的C5-C12搭桥烷基，该烷基亦可被至少1个C1-C4的烷基或氢取代，X是氧或硫原子，n为2-4，p为0-4，m为0-2：(b)至少有一个C3-C15，α，β-不饱和，包含羧基的有3到15个碳原子的单体。增塑剂为含有羧基聚氨酯，分子量为10000-100000，自由羧基在主链，至少有一个烯键不饱和终端基团。