公开/公告号CN102339754B
专利类型发明专利
公开/公告日2014-08-20
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
申请/专利号CN201010234200.5
申请日2010-07-22
分类号
代理机构上海光华专利事务所;
代理人李仪萍
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号
入库时间 2022-08-23 09:20:17
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-07-12
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/336 授权公告日:20140820 终止日期:20180722 申请日:20100722
专利权的终止
2014-08-20
授权
授权
2014-08-20
授权
授权
2012-03-28
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/336 申请日:20100722
实质审查的生效
2012-03-28
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/336 申请日:20100722
实质审查的生效
2012-02-01
公开
公开
2012-02-01
公开
公开
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