相位调制同步积分相移干涉测量方法及装置

摘要

本发明属于光学测试技术。为实时监测和控制相位调制度，实现对光学透镜表面形貌、光学透镜波像差，光学传递函数等的高精度动态测量，本发明采取的技术方案是，相位调制同步积分相移干涉测量方法及装置，包括下列步骤：采用激光器驱动器驱动激光器产生激光，依次经过聚焦透镜、半透半反镜、扩束准直透镜、小半透半反镜、参考镜到达测量镜，小半透半反镜反射信号送入光电探测器PD，半透半反镜反射信号进入摄像机后最终送计算机处理；根据相位信息只是与CCD相机测量信号，相位调制度z，CCD相机曝光信号和相位调制信号之间的相差θ，功率调制系数m有关的公式，进行相位调制度的测量和稳定、相差θ的同步控制。本发明主要应用于光学测试。