相移干涉计量中的相位调制方法及实现

摘要

讨论了相移干涉计量的相位调制方法及实现方法，进而提出并研制了适于连续相移干涉计量的外同步控制相位调制系统，实验结果表明其线性度优于３％，该系统已成功地用于自行研制的２Ｄ－ＳＲＯＰ－１型高精度表面粗糙度轮廓仪中，仪器示值误差小于１．６％，示值变动性小于３．７％。