缺陷检查用图像处理装置和缺陷检查用图像处理方法

摘要

本发明提供一种缺陷检查用图像处理装置等，其能够用产生的光线路径的不同变化来一次性以足够的精度检测出各种类型的缺陷。缺陷检查用图像处理装置(图像分析装置)(6)是对将移动中的成型片用区域相机(5)在时间上连续拍摄的图像数据进行处理的装置，包括：数据提取部(11)，其对于图像数据上不同的多个位置，从不同的图像数据中分别提取相同位置的行数据；数据存储部(13)，其按照图像数据上的每个位置将多个行数据在时序上进行排列，从而生成多个行合成图像数据；变化量计算部(15)，其对多个行合成图像数据进行微分操作符运算，生成多个强调图像数据；相同部位判定提取部(16)，其从多个强调图像数据中提取表示成型片的相同部位的强调图像数据；和累计部17，其按照每个像素将提取的强调图像数据的亮度值进行累计，从而生成缺陷检查用图像数据。