离子束注入机的离子剂量测定装置和方法

摘要

离子注入机包括剂量控制装置，用来测量并控制加在置于该机注入站内的工件上的离子束剂量，它允许校正函数的直接计算，后者包括至少一个K值的校正因数。剂量控制电路利用K值将由设在注入站内的法拉第筒测得的离子束电流I^f转变为有效的离子束电流I^T。K值是从测得的离子束电流I^f[I⁺]和注入站内的压力P之间的关系得出的。在生产流程中，剂量控制电子机构(20)选用合适的K值确定有效离子束电流I^T，从而利用该有效值准确地控制离子束剂量。