法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-07-31
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/023 授权公告日:20140702 终止日期:20170716 申请日:20090716
专利权的终止
2014-07-02
授权
授权
2014-07-02
授权
授权
2011-08-10
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/023 申请日:20090716
实质审查的生效
2011-08-10
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/023 申请日:20090716
实质审查的生效
2011-06-15
公开
公开
2011-06-15
公开
公开
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机译: 正型感光性树脂组合物,固化膜,保护膜,绝缘膜和半导体装置,指示体装置以及使用其的抗蚀剂膜的形成方法
机译: 正型感光性树脂组合物,固化膜,保护膜,绝缘膜以及包含该固化膜的半导体装置和显示装置
机译: 使用正型感光性树脂组合物的半导体装置,固化膜,保护膜,层间绝缘膜,显示装置