三级二维光子晶体缩束器及其制作方法

摘要

本发明涉及一种三级二维光子晶体缩束器及其制作方法，该缩束器由W7型光子晶体波导、W5型光子晶体波导、W1型光子晶体波导和纳米线波导按顺序密接排列构成。所述W7型光子晶体波导和W5型光子晶体波导构成缩束器的一级压缩部分，W5型光子晶体波导和W1型光子晶体波导作为缩束器的二级压缩部分，三级压缩部分则由W1型光子晶体波导和纳米线波导构成。本发明采用三级压缩结构对光束进行压缩，能实现亚微米尺度下对光束进行调节，可在通信波段将光束进行微聚焦以及微压缩，耦合效率高，能够达到高的压缩比以及较小的出射光斑，缩束器的传输效率远高于传统缩束系统。相对于渐变波导，本发明大大减小了器件的体积，提高了器件的集成度。