法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-11-25
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/66 授权公告日:20140625 终止日期:20141006 申请日:20081006
专利权的终止
2014-06-25
授权
授权
2012-09-05
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20081006
实质审查的生效
2012-06-27
公开
公开
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