半导体制造设备批次控制的背景条件偏差估计方法和系统

摘要

描述了半导体制造设备批次控制的背景条件偏差估计方法和系统。在一个实施例中，识别与过程相关的背景条件。过程具有一个或多个线程，每个线程包括一个或多个背景条件。定义输入输出方程组。每个输入输出方程对应于一线程并且包括线程偏差，所述线程偏差表示为单独背景条件偏差的总和。使用输入输出方程组来建立状态-空间模型，所述状态空间模型描述过程的发展。状态空间模型可以估计单独背景条件偏差。