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包括吸气泵和离子泵的组合泵送系统

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本发明公开了一种包括吸气泵(120；220)和离子泵(130；230)的组合泵送系统。该吸气泵和该离子泵(120，130；220，230)被串联安装于同一法兰(111，211)上，并且被分别布置于其相对的侧面上以便于使吸气泵和离子泵朝向真空腔室中的气体流量源的传导性最大化，从而改进该系统的真空层级。

著录项

公开/公告号CN102356236B

专利类型发明专利
公开/公告日2014-06-04

原文格式PDF
申请/专利权人工程吸气公司;
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申请/专利号CN201080012078.5
发明设计人 A·博努奇;A·孔特;P·玛尼尼;
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申请日2010-03-09
分类号
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;
代理人董敏
地址意大利米兰
入库时间 2022-08-23 09:19:28

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2014-06-04

授权

授权
2012-03-28

实质审查的生效 IPC(主分类):F04B 37/02 申请日:20100309

实质审查的生效
2012-02-15

公开

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