用于提供垂直磁记录磁头的方法和系统

摘要

公开了一种在包括中间层的磁记录换能器中提供一PMR磁极的方法和系统。该方法和系统包括在所述中间层上提供一掩模。该掩模包括具有至少一个侧边的线路。在所述掩模上提供一硬掩模层。该硬掩模层的至少一部分位于所述线路的(多个)侧边之上。去除所述线路的(多个)侧边上的至少部分硬掩模层。由此，所述线路的至少一部分被暴露出来。然后去除该线路，在对应于该线路在硬掩模中提供一开孔。该方法还包括在所述开孔下面的所述中间层中形成沟槽。该沟槽顶部宽于底部。该方法进一步包括提供PMR磁极，该磁极的至少一部分位于所述沟槽中。