用于为垂直磁记录磁极提供侧屏蔽体的方法和系统

摘要

本发明涉及用于为垂直磁记录磁极提供侧屏蔽体的方法和系统。公开了一种用于制作具有非磁性中间层的磁性换能器的方法。在中间层上提供了磁极。磁极具有侧面、底部、比底部更宽的顶部和紧邻ABS位置的前斜面。至少邻近磁极的侧面提供侧间隙。底部抗反射涂层(BARC)提供在中间层上。底部抗反射涂层可通过使用液体蚀刻剂去除，并且邻近至少一部分侧间隙。掩模层被提供在底部抗反射涂层上。光刻地传递图案到掩模层中，形成屏蔽掩模。部分底部抗反射涂层暴露于液体蚀刻剂，以便磁极的所述侧面和侧间隙脱离底部抗反射涂层。至少提供磁性侧屏蔽体。