一种碳基纳米管同轴异质结的模板法组装工艺

摘要

本发明涉及一维纳米材料领域，特别是提供了一种碳基纳米管同轴异质结及其模板法组装工艺。异质结由外径相同的纯碳纳米管、N-掺杂碳纳米管或B-掺杂碳纳米管在其长度方向上同轴对接而成，碳基纳米管片段的外径相同，化学成分有差异，异质结外径、长度、壁厚根据需要调整。以阳极氧化铝孔道为模板，采用化学气相沉积过程与等离子体刻蚀工艺相结合，在同一模板上实现纳米管的累次生长和连接，从而获得同轴异质结。化学气相沉积过程采用不同反应源以生长所需成分的碳基纳米管，等离子体刻蚀可切除部分纳米管形成纳米管片段。本发明实现不同形式、成分、尺寸碳基纳米管异质结的控制合成，产物重复性好，工艺可调控性强，符合微电子行业发展的需要。