基于大面积强流脉冲电子束复合处理制备硬质碳化物陶瓷涂层的装置及其制备方法

摘要

基于大面积强流脉冲电子束复合处理制备硬质碳化物陶瓷涂层的装置及其制备方法，涉及制备硬质碳化物陶瓷涂层的装置及其制备方法。它为解决以往大面积强流脉冲电子束技术在对陶瓷涂层进行电子束辐照处理时由于电荷累积效应，导致涂层发生打弧放而破坏，不能用于陶瓷涂层处理的问题。真空泵组与真空室连接；真空室内设置有旋转样品台；与真空泵组相对的一侧上设置有金属靶；石墨靶与电子枪对应设置；四个加热器均匀分布在真空室的内层壁上。将预处理后的待处理工件放置在旋转样品台上正对石墨靶和金属靶；镀上N层膜，再用电子枪辐照；再通过加热器加热进行退货处理，退货处理后进行保温及冷却降温完成制备。它适用材料表面处理领域。