校准接触电势差测量的方法和系统

摘要

一种利用非振动式接触电势差探头和振动式接触电势差探头确定晶片表面接触电势差的方法和系统。所述方法和系统涉及利用非振动式接触电势差传感器扫描晶片表面，将产生的数据积分并缩放，并向个别数据轨迹应用偏移量，从而将积分并缩放的数据与利用振动式接触电势差传感器获得的测量结果匹配。